■ Leak란?

Leak는 압력 차이 혹은 농도 차이에 의해 의도하지 않았던 균열, 틈, 구멍 등을 통하여 원하지 않는 유체가 들어오거나 혹은 가두어 둔 유체가 빠져나가는 현상, 그러한 현상이 일어나는 곳을 말한다.

이지솔루션은 UHP Gas Systems의 Leak Test 요구사항은 아래 기준에 의거하여 Leak Test를 진행 합니다.
기준 : SEMI F1-96 Specification for Leak Integrity of High-Purity Gas Piping Systems and Components
*SEMI란? 반도체 제조 장비 재료 협회란 뜻으로 반도체 관련 산업의 주요 기업들로 이루어진 국제산업협회 입니다.

그림 1. LEAK TEST를 위한 권장 구성

■ Leak Test(감압) 방법

Leak Test 기준 : (Inborad) 1x10-9 atm·cc/sec↓/ (Internal) 1x10-8 atm·cc/sec↓
아래 Leak Test 순서를 참고 바랍니다.

■ Leak Test 순서

- Particle 관리

Particle 관리는 제품의 제조 및 출하 과정에서의 중요한 사항 입니다.

공정이 미세화 될 수록 반도체 설비업체, 연구소와 같은 첨단 생산공정을 갖추고 있는 분야는 작은 Particle에도 쉽게 오염되어 품질이
떨어질 수가 있습니다.
공정의 미세화, 고객사 품질의 향상을 위해 ㈜이지솔루션은 공정별 생산 및 검사 구역을 나누어 Clean Room 관리를 하고 있습니다.

CPC(Condensation Particle Counter, 응축핵계수기) 는 반도체, 연구소 등의 공정이 미세화되어 이러한 공정에 맞추어 더욱 미세한
입자를 정확하게 측정하기 위하여 광산란식 측정법으로 측정 할 수 없는 입자의 범위를 측정하도록 만들어진 방식 입니다.

그림1. Particle Counter Test 구성

CPC는 일반 Particle Counter는 측정이 불가능한 0.1㎛이하의 미세한 Particle를 측정하고자 할 때 사용되는 측정법 입니다.
주입구를 통하여 유입된 대기의 공기를 응축시켜 공기 속 입자를 커지게 하여 응축기에서 성장하게 된 입자는 광학 계수기를 통해 입자의 계수가 측정되는 것입니다.

㈜이지솔루션은 청정한 공간을 만들기 위해 Clean Room 내부환경은 “Clean Room 관리 절차서” 와 UHP System은 Particle Counter에 의해 Test 및 관리 되고 있습니다.

그림2. CPC 측정법의 개략도