가스 공급 장치 (Gas Cabinet)

제품 특징
- 독성 및 가연성 49 Liter 이하 공급 용기 적용
- PLC & Touch Screen 적용 편리한 운용(옵션사항)
- 음향 및 시각적 위험 경보
- 자동화된 Purge 기능
- 접속 및 접합부 최소화
- 가스 누출 시 긴급 차단 & 배기
- 자동 및 반자동 교체 가능
- Leakage rate : 1×10-9 atm·CC/Sec↓, He leak Test
- 가스안전공사 검인품
- 케비넷 표준 사이즈(W X D X H)(mm)
· 1Bottle : 500X550X2000
· 2Bottle : 800X550X2000
· 3Bottle : 1200X550X2000

VMB/VMP (Valve Manifold Box / Valve Manifold Panel)

제품 특징
- Process Line의 안정적인 유량 공급 가능
- PLC & Touch Screen 적용 편리한 운용(옵션사항)
- 음향 및 시각적 위험 경보
- 접속 및 접합부 최소화
- Leakage rate : 1×10-9 atm·CC/Sec이하↓, He leak Test
- 가스안전공사 검인품

BSGS(Bulk Specialty Gas System)

제품 특징
- Y-Cylinder, Ton-Cylinder 등 대유량 공급 용기 적용
- PLC & Touch Screen 적용 편리한 운용(옵션사항)
- 음향 및 시각적 위험 경보
- 자동화된 Purge 기능
- 접속 및 접합부 최소화
- 가스누출 시 긴급 차단 & 배기
- 자동 및 반자동 교체 가능
- Leakage rate : 1×10-9 atm·CC/Sec↓, He leak Test
- 가스안전공사 검인품

가스 라인 (Gas Line)

제품 특징
- Particle 최소화를 위하여 Clean room 에서 용접 및 고순도99.999% Ar Gas을 Purifier 거쳐 사용 및 유지관리
- 자동 용접으로 균일한 비드 생성
- 용접 외면 부위 Electrolytic Polishing 처리
- 전 품목 Particle Check 및 Leak Test 실시
- 고객 요청 시 현장 실측 후 제작 가능(CGA Line 등)
- VCR외 특수 피팅 용접 가능(VCO, Utlra torr 등)

Piping Work

제품 특징
- 반도체 또는 LCD 공정 장비에 사용되는 Process Gas들에 대해 고순도를 유지하며 누출 없이 POU (Point of Use)까지
공급 할 수 있도록 연결 시켜주는 Piping 작업입니다.

GMS(Gas Monitoring System)

제품 특징
- GMS(Gas Monitoring System)는 원격지에서 System의 상황을 실시간 확인 및 동작 할 수 있고, Gas Detector를
PC-Based의 원격감지 시스템으로 활용하여 더욱 안전성을 추구 할 수 있습니다.

ORDER BASE

제품 특징
- 고객이 원하는 NEEDS에 맞도록 2D, 3D 설계, 제작물 생산, 프로그램 개발, GMS. 현장시공 까지
최적의 TOTALSOLUTION 제공
▶ 적용 항목
GAS PANEL, RACK, GAS BOX, GAS CABINET 외 기타SYSTEM